Чувствительным элементом таких датчиков является тензодатчик, измеряющий деформацию пружины, удерживающей инерционную массу. Такие устройства способны измерять ускорение в частотном диапазоне до десятков килогерц и выдерживать перегрузку до 1000g.
.files/image650.jpg)
Рис. 7.7 Устройство пьезорезистивного акселерометра.
Когда ускорение действует на чувствительную ось, инерционная масса поворачивается вокруг подвеса. При этом один из тензодатчиков испытывает сжатие, а второй – растяжение.
