Тепловой акселерометр

Рис. 7.8 Тепловой акселерометр: А – поперечное сечение нагреваемой части преобразователя, Б – устройство датчика.

Для измерения температуры на балке формируется детектор температуры, в качестве которого могут выступать интегрированные в балку диоды или нанесенные ее поверхность термопары. Измеренная этими датчиками температура и преобразованная в электрический сигнал и является мерой ускорения. Чувствительность таких датчиков ниже чем у рассмотренных выше, но они менее подвержены влиянию температурных изменений окружающей среды, электромагнитных и других помех.

Рис. 7.9 Измерение параметров механических колебаний с помощью преобразователей микроперемещений.