При измерении низких давлений или когда для повышения динамического диапазона применяются толстые мембраны, для получения заданных значений разрешения и точности величина перемещения диафрагмы может оказаться недостаточной. В дополнение к этому рабочие характеристики большинства пьезорезистивных и некоторых емкостных датчиков довольно сильно зависят от температуры, что требует использования дополнительных цепей температурной компенсации.
Оптические методы измерений обладают рядом преимуществ над остальными способами детектирования давления: простотой, низкой температурной чувствительностью, высокой разрешающей способностью и высокой чувствительностью. Особенно перспективными являются оптоэлектронные датчики, реализованные на основе явления интерференции света. Такие преобразователи используют принцип измерения малых перемещений с помощью интерферометра Фабри-Перо.
На рис.6.11 представлена конструкция интерференционного датчика давления. В состав датчика входят: кристалл оптического преобразователя давления с диафрагмой, светоизлучающий диод, кристалл детектора. Детектор состоит из трех фотодиодов.
.files/image559.jpg)
.files/image561.jpg)
Рис. 6.11 Схема оптоэлектронного и оптоволоконного вариантов конструктивного исполнения датчиков давления на основе использования интерферометра Фабри – Перо.
