Сенсоры угла наклона называют еще "инклинометрами" (от латинского incline – наклоняю). Чаще всего речь идет об угловом отклонении от вертикали или от горизонтальной плоскости. Уже самые древние строители использовали с этой целью отвесы, ватерпасы (рис. ,а,б,в), позже – уровни (рис. в). В начале ХХ века начали использовать ртутные выключатели, принцип действия которых показан на рис. 3.7,г. В герметически закрытой капсуле свободно перемещается капелька ртути. В капсулу из диэлектрика введены 2 металлических электрода. Когда капсула расположена вертикально, капля ртути находится в центре и электрически соединяет эти электроды. Если же капсула и плата, на которой она закреплена, наклоняются к горизонту на угол, который превышает критический, капля ртути под действием силы тяжести смещается, и электрический контакт разрывается, сигнализируя об опасном крене.
.files/image058.gif)
Рис. 3.7. Простейшие датчики наклона: а – отвес; б – ватерпас; в – уровень; г – ртутный выключатель
За последние десятилетия созданы и нашли широкое применение более точные инклинометры с электрическими выходными сигналами. На рис. 3.8 показан принцип действия электролитических инклинометров.
.files/image059.gif)
Рис. 3.8. Принцип действия электролитического инклинометра.
В несколько выгнутый герметичный корпус 1, например, из керамики или стекла, залит жидкий электролит 2 так, чтобы в нем остался воздушный пузырек 3. В корпус введены три электрода: электрод 4 – в центре, электроды 5 и 6 – на концах корпуса. Когда корпус находится точно в горизонтальном положении, а воздушный пузырек – над центральным электродом, то электрические сопротивления электролита между электродами 5 и 4, 4 и 6 одинаковы. Эти электрические сопротивления включены в плечи мостовой схемы, выход которой соединен с операционным усилителем. При равенстве сопротивлений мост сбалансирован, и сигнал на выходе равен нулю. Если сенсор слегка наклоняется, то воздушный пузырек смещается в сторону. Электрическое сопротивление между электродами изменяется. Баланс мостовой схемы нарушается, и на ее выходе появляется сигнал той или иной полярности, величина которого пропорциональная углу наклона. Чтобы исключить влияние поляризации электролита, для балансировки мостовой схемы и для ее питания используют переменный ток.
Другой вариант конструкции электролитического инклинометра показан на рис. 3.9. Электроды в виде проволочек размещены здесь параллельно оси, перпендикулярной к плоскости рисунка, вокруг которой при наклонах вращается сенсор. Жидкий электролит 2 заполняет корпус 1 лишь частично. Когда наклона нет, электрические сопротивления между центральным электродом 3 и боковыми электродами 4, 5 одинаковы. Эти сопротивления включены в плечи мостовой схемы переменного тока. Мостовую схему балансируют так, чтобы напряжение на выходе равнялось нулю. При наклонах сенсора количество электролита с одной стороны возрастает, а с другой уменьшается. Соответственно изменяются и электрические сопротивления. Сигнал на выходе мостовой схемы и после усилителя становится тем больше, чем больше угол наклона. А его полярность указывает направление наклона.
.files/image061.gif)
Рис. 3.9. Электролитический инклинометр: 1 - герметичный корпус; 2 - жидкий электролит; 3 - центральный электрод; 4, 5 - боковые электроды.
Много фирм выпускает подобные электролитические инклинометры: HL-Planartechnik Gmb, Seika Mikrosystemtechnik Gmb, Fraba Posital Gmb, ООО "Микросенсорные технологии", НПП "Уралметаллургавтоматика", The Fredericks Company и прочие. Разные серии инклинометров охватывают диапазоны углов наклона от –5° до +5° (с точностью измерения 0,001°), ±10° и ±15° (с точностью измерения 0,002°), ±30° (с точностью измерения 0,005°) и т.п.
Высокая точность, небольшие размеры, простота установки на объектах обусловили широкий диапазон их применения. Это и контроль за вертикальным положением высотных сооружений, точное определение направления бурения нефтяных, газовых и других буровых скважин, определение уклона автомобильных дорог, железнодорожных путей, штреков в шахтах, крена кораблей, автомобилей, строительных кранов и экскаваторов, измерение деформационного прогиба мостов, опорных балок и т.п.
Выпускаются не только простые, но и интеллектуальные инклинометры со встроенными микропроцессорами, которые выполняют довольно широкий набор функций. Это могут быть одно- и двухкоординатные инклинометры с цифровым интерфейсом, с возможностью автоматического управления предохранительными механизмами, с возможностью задания пользователем критических значений углов наклона, с выдачей предупредительных сигналов и т.п.
Некоторые промышленные образцы таких инклинометров показаны на рис. 3.10. Двухкоординатность достигается путем использования двух отдельных одноосных инклинометров, сориентированных во взаимно перпендикулярных направлениях.
.files/image062.jpg)
Рис. 3.10. Некоторые образцы двухкоординатных интеллектуальных инклинометров
На рис. 3.11 показана оптоэлектронная конструкция инклинометра, которая обеспечивает возможность измерения одновременно двух углов наклона во взаимно перпендикулярных плоскостях. В корпусе 1 размещены светодиод 2, кремниевый чип 3 со сформированными в нем фотодиодами или фототранзисторами 4 и усилителями, пластиковое полушарие с прозрачной жидкостью 5 и оставленным в ней воздушным пузырьком 6. Этот пузырек, преломляя свет от светодиода 2, создает область тени 7. Когда корпус 1 расположен горизонтально, тень от пузырька одинаково прикрывает все 4 фотодиода. Если корпус немного наклоняется, то воздушный пузырек смещается. Соответственно по поверхности фотодиодов смещается и тень от него (рис. 3.11 справа). И сигналы от фотодиодов становятся разными. Их измерение позволяет точно рассчитать углы наклона относительно двух ортогональных осей. Для этого сенсор еще в процессе производства точно калибруют при нормальной и при крайних рабочих значениях температуры. Данные калибровки заносят в память микропроцессора.
.files/image063.gif)
Рис. 3.11. Конструкция и принцип действия двухкоординатного оптоэлектронного инклинометра
Погрешность измерения углов наклона таким способом не превышает 0,01°. Это позволяет с большой точностью контролировать форму поверхности, например, зеркал больших телескопов, плоскостность и горизонтальность направляющих рельсов больших высокоточных координатных столов и т.п.