При измерении низких давлений перемещение тонкой пластины или диафрагмы может быть небольшим. Фактически, оно может быть таким маленьким, что тензодатчик, прикрепленный к диафрагме или встроенный в нее, будет выдавать очень слабый выходной сигнал, недостаточный для последующей его обработки.
Один из возможных способов решения этой проблемы – использование емкостного датчика, в котором отклонение диафрагмы измеряется по ее положению относительно опорной пластины. Другим способом решения проблемы измерения очень низких давлений является применение магнитных датчиков.
Датчики переменного магнитного сопротивления измеряют изменение магнитного сопротивления дифференциального трансформатора, вызванного перемещением магнитной диафрагмы, возникающего вследствие воздействия на нее внешнего давления. Принцип работы устройства основан на изменении величины воздушного зазора в цепи магнитопровода в функции измеряемого давления.
.files/image555.jpg)
.files/image557.jpg)
Рис. 6.10 Датчик давления по магнитному сопротивлению:
А – принцип действия; Б – эквивалентная схема.