Ионизационный метод основан на зависимости степени ионизации газа от давления. В зависимости от типа датчика ионизация газа создается за счет электронной эмиссии или радиоактивным излучением. Электронный датчик представляет собой трехэлектродную электронную лампу с накаливаемым катодом, внутрь которой подается измеряемое. При наличии разности потенциалов между анодом и катодом, превышающей ионизационный потенциал газа, молекулы газа ионизируются электронами, летящими от катода к аноду. При этом на отрицательно заряженной сетке образуются положительные ионы и создается сеточный ионизационный ток, величина которого при р=мм рт. ст. пропорциональна абсолютному давлению, если анодный ток постоянен. Выходной величиной датчика служит ионизационный ток.
Область применения электронного датчика — от до мм рт. ст., величина сеточного тока при этом составляет ¸А.
Разновидностью ионизационных манометров является магнитный электроразрядный манометр, отличающийся от рассмотренного выше отсутствием накала катода. Молекулы газа, давление которого измеряется, ионизируются свободными электронами, которые движутся с большой скоростью от катода к аноду, под влиянием высокого анодного напряжения от сотен до нескольких тысяч вольт. Для увеличения длины свободного пробега электронов (с целью повышения вероятности их столкновения с молекулами газа) между катодом и анодом создается магнитное поле, искривляющее траекторию, движения электронов, которые движутся при этом по спирали. Сила тока газового разряда имеет сравнительно большую величину — сотни микроампер, и может быть измерена без предварительного усиления. Пределы измерения магнитных газоразрядных манометров ¸1 мм рт. ст.
Радиоактивный датчик давления отличается от электронного тем, что ионизация молекул газа создается под воздействием a-частиц (положительно заряженных ядер гелия), образующихся при распаде радиоактивного вещества с достаточно большим периодом полураспада. В качестве источников излучения используются препараты радия, полоний-210, плутоний-239. Слой вещества нанесен на один из двух электродов, помещенных внутрь камеры, в которую подается измеряемое давление. Последовательно с электродами включено сопротивление и подведено напряжение U. Выходной величиной служит ионизационный ток I или падение напряжения, создаваемое этим током на сопротивлении R. Это напряжение можно усилить с помощью усилителя с высоким входным сопротивлением.
Недостатком радиоактивных датчиков является малая величина ионизационного тока (–А), вследствие чего к изоляции электродов и входной цепи усилителя предъявляются высокие требования. В частности, во входном каскаде усилителя необходимо применять электрометрическую лампу. Давления, измеряемые радиоактивными датчиками, лежат в пределах -мм рт. ст.