русс | укр

Языки программирования

ПаскальСиАссемблерJavaMatlabPhpHtmlJavaScriptCSSC#DelphiТурбо Пролог

Компьютерные сетиСистемное программное обеспечениеИнформационные технологииПрограммирование

Все о программировании


Linux Unix Алгоритмические языки Аналоговые и гибридные вычислительные устройства Архитектура микроконтроллеров Введение в разработку распределенных информационных систем Введение в численные методы Дискретная математика Информационное обслуживание пользователей Информация и моделирование в управлении производством Компьютерная графика Математическое и компьютерное моделирование Моделирование Нейрокомпьютеры Проектирование программ диагностики компьютерных систем и сетей Проектирование системных программ Системы счисления Теория статистики Теория оптимизации Уроки AutoCAD 3D Уроки базы данных Access Уроки Orcad Цифровые автоматы Шпаргалки по компьютеру Шпаргалки по программированию Экспертные системы Элементы теории информации

Технология изготовления транзисторов.


Дата добавления: 2015-08-31; просмотров: 1879; Нарушение авторских прав


  • Планарно-эпитаксиальная
  • Сплавная
    • Дифузионный
    • Дифузионносплавной

При планарно-диффузионной технологии исходную пласти­ну монокристалла, в которой формируют р—w-переход, покры­вают тонким защитным слоем диэлектрика. После этого спосо­бом фотолитографии изготовляют первую оксидную маску, для чего в защитном слое делают отверстия (окна) требуемой кон­фигурации по числу необходимых р—п-переходов. Для этого за­щитный слой покрывают тонким слоем светочувствительной эмульсии — фоторезиста, на поверхность которого проектиру­ют требуемый рисунок маски. После этого изображение прояв­ляется, и засвеченные участки фоторезиста стравливаются, об­нажая защитный слой. С помощью травления обнаженные уча­стки защитного слоя растворяют, и таким образом формируется требуемая совокупность окон. Через полученные окна произво­дят диффузию необходимых примесей в исходную подложку кремния.

Планарно-эпитаксиальная технология дает возможность на­ращивать полупроводниковый слой на подложку любого типа проводимости, при котором кристаллическая структура нара­щенного слоя является продолжением кристаллической струк­туры подложки. Состав наращенного слоя (эпитаксиальной пленки) может отличаться от состава подложки. Наращивая эпитаксиальный слой л-типа на подложку из кремния /?-типа, можно сформировать р—л-переход, причем однородный по структуре эпитаксиальный слой может служить основой для из­готовления других р—п-переходов, если его покрыть защитным слоем, а затем повторить технологический процесс, изложен­ный при рассмотрении планарно-диффузионной технологии.

Рассмотрим некоторые технологические приемы планарной технологии.

Окисление исходного кремния производят при температуре около 1000 °С в среде влажного кислорода до образования на по­верхности пластины кремния диэлектрической пленки диоксида кремния (Si02) толщиной до 2 мкм.



Фотолитографию используют для защиты отдельных участков кремниевой пластины при создании окон. На поверхность пла­стины наносят слой фоторезиста, который засвечивают через шаблон с прозрачными и непрозрачными участками в соответст­вии с количеством и конфигурацией окон. После обработки фо­тослоя отдельные его участки вытравливают, чем обеспечивается локальный доступ к поверхности пластины.

· Травление — операция, при которой образовавшаяся на по­верхности пластины пленка Si02 растворяется плавиковой ки­слотой на незащищенных участках.

· Диффузия — операция по формированию р—п-переходов на заданных участках полупроводника. Пластину кремния помеща­ют в термостат с температурой около 1200 ° С, содержащий газ с необходимыми примесями, диффундирующими в исходный по­лупроводник через окна в пленке Si02. Изменяя тип и концен­трацию примесей, можно получить требуемую многослойную р—«-структуру в кристалле полупроводника.

· Эпитаксия — операция по наращиванию при высокой тем­пературе слоя полупроводника одного типа проводимости на поверхности исходной пластины полупроводника другого типа проводимости. При этом, как было указано ранее, наращенный слой в точности повторяет кристаллическую структуру исход­ного материала.

· Напыление — операция по созданию проводников и контакт­ных площадок посредством осаждения в вакууме паров соответ­ствующих материалов на поверхность кристалла через маску.

· Ионное легирование — операция, заключающаяся в облучении полупроводниковой пластины ускоренными до необходимой скорости ионами примеси.



<== предыдущая лекция | следующая лекция ==>
Контакты полупроводник – металл. | Емкости p-n перехода. Схемы замещения p-n перехода.


Карта сайта Карта сайта укр


Уроки php mysql Программирование

Онлайн система счисления Калькулятор онлайн обычный Инженерный калькулятор онлайн Замена русских букв на английские для вебмастеров Замена русских букв на английские

Аппаратное и программное обеспечение Графика и компьютерная сфера Интегрированная геоинформационная система Интернет Компьютер Комплектующие компьютера Лекции Методы и средства измерений неэлектрических величин Обслуживание компьютерных и периферийных устройств Операционные системы Параллельное программирование Проектирование электронных средств Периферийные устройства Полезные ресурсы для программистов Программы для программистов Статьи для программистов Cтруктура и организация данных


 


Не нашли то, что искали? Google вам в помощь!

 
 

© life-prog.ru При использовании материалов прямая ссылка на сайт обязательна.

Генерация страницы за: 0.411 сек.