Тензорезистор - это полупроводниковый резистор, в котором используется зависимость электрического сопротивления от механической деформации.
Назначение - измерение давлений и деформаций.
Принцип действия полупроводникового тензоризистора основан на тензорезистивном эффекте - на изменении электрического сопротивления полупроводника под действием механических деформаций.
Для изготовления тензорезисторов чаще всего используют кремний с электропроводностью n - и p-типов. Заготовки такого кремния режут на мелкие пластинки, шлифуют, наносят контакты и присоединяют выводы.
Основные параметры тензорезисторов:
номинальное сопротивление тензорезистора - это сопротивление без деформации при t = 200C (обычно оно имеет величину от нескольких десятков до нескольких тысяч Ом);
коэффициент тензочувствительности - отношение относительного изменения сопротивления к относительному изменению длины тензорезистора:
. (2.3)
Для различных тензорезисторов К лежит в пределах от −100 до +200;
предельная деформация тензорезистора.
Деформационная характеристика - это зависимость относительного изменения сопротивления тензорезистора от относительной деформации.
Рисунок 2.3 - Деформационные характеристики тензорезисторов из кремния с электропроводностью р - и n – типов
