Диод Шоттки – это полупроводниковый диод, выпрямительные свойства которого основаны на взаимодействии металла и обедненного слоя полупроводника.
Для создания диодов Шоттки (ДШ) используется переход металл – полупроводник. Работа этих диодов основана на переносе основных носителей заряда и характеризуется высоким быстродействием. Так как в них отсутствует характерное для р-n переходов накопление неосновных носителей заряда, ДШ используют в качестве элементов интегральных микросхем, а также в качестве дискретных приборов. Силовые (мощные) ДШ для силовой полупроводниковой электроники изготавливаются на основе кремния n-типа, имеют рабочие токи до нескольких сот ампер, исключительно высокое быстродействие (по сравнению с диодами на основе р-n переходов), но низкие рабочие напряжения, не превышающие нескольких десятков вольт.
Низкие рабочие напряжения ДШ прежде всего связаны с наличием «краевых» эффектов при лавинном пробое перехода, которые имеют место на периферии металлического контакта. Дело в том, что с увеличением обратного напряжения увеличивается напряженность электрического поля в ОПЗ ДШ. При критических полях 300 кВ/см в кремнии начинается ударная ионизация электронно-дырочных пар и их лавинное размножение, приводящее к сильному возрастанию обратного тока перехода.
Рис.10. Простейшая а) и реальная б) конструкции диода Шоттки:
В простейшей конструкции ДШ (рис.10а) силовые линии электрического поля, замыкающиеся на положительных зарядах ионов доноров, вблизи края металла резко сгущаются, что определяет резкое нарастание краевого поля. Этот эффект наиболее выражен при слабом легировании полупроводника и приводит к краевому лавинному пробою при очень низких напряжениях (несколько вольт). Для ослабления краевого поля и повышения напряжения пробоя было предложено множество конструкций ДШ, наиболее удачной и употребительной из которых является структура с охранным р-n переходом (рис. 10б). Таким образом, при глубине залегания р-n перехода в несколько микрометров удается повысить напряжение пробоя ДШ до нескольких сотен вольт.
Основная причина инерционности ДШ связана с перераспределением заряда вблизи границы ОПЗ при изменении внешнего напряжения U, т. е. с изменением толщины барьера хn. Такое поведение диода подобно поведению конденсатора. Заряд конденсатора связан нелинейной функциональной зависимостью с напряжением U, т. е. имеет нелинейную кулоновольтную характеристику. Количественно такая нелинейная емкость, называемая барьерной, определяется дифференциальным соотношением:
(4)
Емкость Сбар сильно возрастает при прямых смещениях (U>0) и уменьшается при обратных (U<0). При больших прямых смещениях (U~Uj) нарушаются допущения, принятые при выводе этой формулы (предположение о полном обеднении ОПЗ), и эта формула непригодна.
Обратные токи ДШ на 3-4 порядка больше обратных токов диодов с р-n переходом, а прямые напряжения для ДШ значительно ниже. На рис.11 показаны прямые характеристики ДШ и для сравнения приведена ВАХ диода с р-n переходом.
Рис. 11. Прямые ВАХ диодов в области больших (а) и малых (б) токов:
1 – диод Шоттки; 2 – диод на основе р-n перехода
В настоящее время силовые ДШ наиболее эффективны как низковольтные быстродействующие диоды на большие токи.
В зависимости от конструкции диода Шоттки они делятся на выпрямительные, сверхбыстрые диоды и сигнальные.