4.6. Минироботы
Требования, предъявляемые к ММ и системам, это прецизионность или высокая точность перемещения конечного звена (рабочего органа), в современных микро- и нанотехнологиях в промышленности и медицине.
Это следующие требования:
Ø допускаемая погрешность формы 0,01–0,1 мкм;
Ø шероховатость обрабатываемой поверхности
мкм;
Ø дискретность перемещения до 5 нм;
Ø малое сечение стружки порядка 20 мкм2;
Ø исключение тепловых деформаций и виброузлов.
Примером могут служить электроэрозиционные станки фирмы Sodick, применяемые для медицинских микроприборов и микродвигателей.