Формирование изображения в РЭМ.

Формирование изображенийй в РЭМ включает в себя 5 стадий:

Сканирование

Построение изображения

Увеличение

Глубина фокуса

Передача изображения в цифровой форме

Сканирование.

Протекает в двух направлениях X иY. Осуществляется при помощи электромагнитных отклоняющих катушек, объединенных в две пары.

Преимущество: отклоняющие катушки находятся внутри линзы, что позволяет перемещать образец под линзой на максимально близкое расстояние.

Построение изображения.

Информация, выходящая из растрового электронного микроскопа, состоит из положений пучка в координатах X-Y и соответствующего набора интенсивностей сигналов от каждого из используемых детекторов. Эту информацию удобно отобразить для визуального наблюдения двояким образом.

1. Сканирование вдоль строки.

Пучок движется вдоль одной линии на образце, в X- или Y-направлении. Этот же самый сигнал развертки с генератора используется в ЭЛТ для горизонтального отклонения.

Сканирование вдоль строки можно использовать для отображения малых изменений сигнала, которые можно легко выявить в режиме Y-модуляции, но которое было бы трудно различать в обычном режиме получения изображения с помощью модуляции интенсивности.

2. Сканирование по площади.

Пучок сканирует по двумерному (X-Y) растру, по аналогичному растру идет сканирование в ЭЛТ. Изображение повторяет точную форму объекта, т.к. синхронные развертки на образце или экране ЭЛТ устанавливают геометрическую связь между любым произвольно выбранным набором точек на образце или экране ЭЛТ. Относительный размер объектов отличается за счет увеличения.