Рис.1 Схема электронной и рентгеновской оптики.
1 – катод, 2 – модулятор, 3 – анод, 4 – ограничивающая диафрагма, 5 – первая конденсорная линза, 6 – вторая конденсорная линза, 7 – катушка двойного отклонения, 8 – стигматор, 9 – конечная (объективная) линза, 10 – диафрагма, ограничивающая размер пучка, 11 – детектор рентгеновского излучения (кристалл – дифракционный или с дисперсией по энергии), 12 – усилитель фотоумножителя, 13 – генераторы развертки, 14 – образец, 15 – детектор вторичных электронов, 16 – к катушке двойного отклонения, 17 – управление увеличением, 18 – электронно-лучевая трубка (ЭЛТ).
