При прецезионных измерениях параметров решетки необходимо учитывать поправку на преломление рентгеновских лучей в веществе, ошибки вызванные влиянием неравномерности фона рентгенограмм и смещения линий.
Поправка на поглощение выведена в предположении параллельности пучка рентгеновских лучей и сильно поглощающего вещества. Реальный пучок несколько расходится, а глубина отражающего слоя зависит от коэффициента поглощения.
Ошибка обусловленная неточностью поправки на поглощение, тем меньше, чем меньше диаметр образца, и уменьшается с увеличением Q.
Поправка на поглощение при прецезионном определении параметров решетки непосредственно не вводится.
Поправка на эффективный диаметр камеры или образца также не является источником существующих ошибок.
Основным источником ошибок является эксцентриситет образца.Небольшие смещения перпендикулярные пучку не вызывают заметного изменения угла Q, смещения вдоль пучка вызывают либо увеличение, либо уменьшение всех углов Q. Относительная ошибка в значениях d соответствует cos2Q.
Если образец закреплен относительно неперпендикулярно пучка рентгеновского излучения, то это вызывает уширение линий на рентгенограмме в области малых углов Q. В области больших углово бразец вообще может выйти из зоны действия рентгеновского излучения, все линии в этом случае получаются двойными и размытыми, причемрасстояние между парами линий не изменяется с углом, что позволяет это отличить от расщепления на Кa1 и Кa2 – дублеты, вызванного искажением решетки.
