Кристалл ИМС

Металлическая дорожка (межсоединение)

Контактная площадка

Внешний проволочный вывод корпуса ИМС

Металл, используемый для получения межсоединений, должен отвечать следующим требованиям:

Иметь высокую проводимость (хорошо проводить электрический ток);

2 Иметь хорошую адгезию к Si и к пленке SiО₂,

Не подвергаться коррозии и окислению;

Не образовывать химических соединений с кремнием;

Быть прочным, дешевым.

Наиболее полно этим требованиям отвечает высокочистый алюминий ( марки А 99).Наибольшее распространение получили следующие методы нанесения тонких пленок: термическим испарением материалов в вакууме, ионным распылением и ионно - термическим испарением.

Термическое испарение в вакууме

Термическое испарение обладает рядом преимуществ:

В высоком вакууме можно наносить особо чистые пленки;

Относительная простота метода и автоматизация процесса позволяет осаждать пленки с воспроизводимыми параметрами;