Полупроводниковая пластина
Примесно-силикатное стекло
Диффузионная область после загонки
2.
Вторую стадию, диффузионный отжиг, называемую "разгонкой", проводят, предварительно удалив примесно- силикатное стекло.
5- окисная плёнка, растущая при разгонке