Скорость травления ограничивается либо диффузией травителя к поверхности или продуктов реакции от поверхности, либо скоростями поверхностных химических реакций.
Травители, в которых самыми медленными этапами являются диффузионные, называются полирующими. Такие травители нечувствительны к неоднородностям поверхности, они сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф.
Травители, в которых самыми медленными являются поверхностные химические реакции, называются селективными. Селективные травители с большой разницей скоростей травления в различных направлениях принято называть анизотропными.
В зависимости от целей травления применяют те или иные травители. Так, для подготовки пластин кремния к изготовлению микросхем применяют полирующие травители. В процессе изготовления ИМС с помощью анизотропныхтравителей в кремнии вытравливают углубления. Для выявления поверхностных дефектов применяют селективные травители.
В качестве травителей используют кислоты и щелочи.
Очистка в Н2О.
После выполнения операций обезжиривания и травления пластины промывают деионизованной водой.
Отмывку в воде выполняют:
В протоке воды в многокаскадных ваннах;
В ультразвуковых ваннах;
Струей;
