Эпитаксия
Окисление
Фотолитография
Диффузия
Ионное легирование
Металлизация и ряд других.
Технологические операции выполняются в определенной последовательности, неоднократно повторяются и составляют маршрут изготовления ИМС.Чем сложнее ИМС, тем больше технологических операций нужно выполнить и тем длиннее маршрут ее изготовления.
После изготовления кристаллов ИМС на пластине каждую пластину разрезают на отдельные кристаллы, а затем каждый кристалл заключают в корпус.
Процесс изготовления ИМС сопровождается контрольными операциями и завершается испытаниями. После испытания и измерения параметров удовлетворяющие всем требованиям ИМС проходят заключительные операции (окраска, лакировка, маркировка, упаковка) и поступают на склад готовой продукции для передачи заказчику - изготовителю электронной аппаратуры.
Цель курса «Обшей технологии»:
Более подробно познакомиться с этапами изготовления ИМС и детально изучить основные технологические операции кристального производства;
