Пьезорезисторный метод

Пьезорезисторный метод основан на зависимости электрического сопротивления проводника или полупроводника от величины воздействующего на него давления. При этом сопротивление некоторых типов пьезорезисторов может изменяться незначительно. Например, при подаче давления в 1000 кГ/см2 сопротивление пьезорезистора изменяется всего на 0,2%. Поэтому резисторные датчики с проволочным чувствительным элементом применимы для измерения очень высоких давлений (десятки тысяч атмосфер). Полупроводниковые чувствительные элементы (ферриты, керамические пьезоэлектрики и др.) обладают более высокой чувствительностью, чем проволочные, но их характеристики нестабильны и существенно зависят от температуры.