Болометры – это миниатюрные резистивные детекторы температуры или термисторы, а также другие типы температурочувствительных резисторов, используемых для измерения интенсивности электромагнитного излучения в широком спектральном диапазоне. Области применения таких детекторов включает определение ИК температуры, построение тепловых образов, измерение локальных полей при высокой мощности излучений, тестирование СВЧ устройств. Они используются в устройствах управления лучами ВЧ антенн, в медицинских приборах и т.п.
Принцип действия болометров основан на фундаментальном физическом законе, связывающем величину поглощенного электромагнитного сигнала с рассеиваемой мощностью.
Рис. 14.4 Эквивалентная схема болометра с электрическим смещением (А), конструкция оптического болометра (Б).
Современные болометры изготавливают в виде миниатюрных термисторов, с использованием технологии нанесения тонких пленок на кремниевые микромебраны.
Для измерения ИК излучения применяют также чувствительные элементы на основе термопар.
Рис. 14.5 Двухступенчатый датчик оптического излучения:
1 — металлический диск; 2 — слой черни; 3 — дифференциальная термопара.