Этот вид пробоя характеризуется весьма быстрым развитием, он протекает за время, меньшее 10-7-10-8 с, и не обусловлен тепловой энергией, хотя электрическая прочность при электрическом пробое в некоторой степени зависит от температуры.
Электрический пробой по своей природе является чисто электронным процессом, когда из немногих начальных электронов в твердом теле создается электронная лавина. Электроны рассеивают энергию своего движения, накопленную в электрическом поле, возбуждая упругие колебания кристаллической решетки. Электроны, достигшие определенной критической скорости, производят отщепление новых электронов стационарное состояние нарушается, т. е. возникает ударная ионизация электронами в твердом теле.
Чисто электрический пробой имеет место, когда исключено влияние электропроводности и диэлектрических потерь, обусловливающих нагрев материала, а также отсутствует ионизация газовых включений. В случае однородного поля и полной однородности структуры материала напряженность поля при электрическом пробое может служить мерой электрической прочности вещества.
Для однородных материалов наблюдается заметная разница между значениями пробивного напряжения в однородном и неоднородном полях.
