Первые КМОП микросхемы не имели защитных диодов на входе, поэтому их монтаж представлял значительные трудности. Затворы МОП транзисторов при монтаже часто пробивались статическим электричеством. Это семейство цифровых микросхем серии К172. В следующем, улучшенном семействе микросхем серии К176 были включены защитные диоды. Эти микросхемы достаточно распространены и в настоящее время. Серия К1561 завершает развитие первого поколения КМОП микросхем. В этом семействе было достигнуто быстродействие микросхем на уровне 90нс и диапазон изменения напряжения питания 3..15В. Зарубежный аналог этих микросхем – C4000В.
Дальнейшим развитием КМОП микросхем стала серия SN74HC. Эти микросхемы отечественного аналога не имеют. Они обладают быстродействием 27нс и могут работать в диапазоне напряжений 2..6В. Эти микросхемы совпадают по конструктивному исполнению и функциональному ряду с ТТЛ микросхемами, но не совместимы с ними по логическим уровням, поэтому одновременно были разработаны микросхемы серии SN74HCT (отечественный аналог – К1564), совместимые с ТТЛ микросхемами и по логическим уровням.
В это время в радиоэлектронной аппаратуре наметился переход на трёхвольтовое питание. Для него были разработаны микросхемы SN74ALVC с временем задержки сигнала 5,5 нс и диапазоном питания 1,65…3,6 В. Эти же микросхемы способны работать и при 2,5- вольтовом питании. Время задержки сигнала при таком напряжении питания увеличивается до 9 нс.
В настоящее время наиболее перспективным семейством КМОП микросхем считается семейство SN74AUC с временем задержки сигнала 1,9 нс и диапазоном напряжения питания 0,8…2,7 В.