Растровая электронная микроскопия (РЭМ, СЭМ) и рентгеноспектральный микроанализ (РСМА).

Растровый электронный микроскоп и рентгеновский микроанализатор – это два прибора с большими возможностями, позволяющие наблюдать и изучать неоднородные неорганические материалы и поверхности. В этих приборах исследуемая область или микрообъем облучаются тонко сфокусированным электронным пучком. Причем этот пучок и может быть как неподвижным, так и разворачиваемым в растр по поверхности образца.

При взаимодействии пучка электронов с поверхностью образца возникают различные типы сигналов.

Все сигналы исходят из специфических эмиссионных областей внутри образца и могут быть использованы для изучения многих характеристик образца (состав, топография поверхности, кристаллографическая ориентация и.т.д.).

В РЭМ большой интерес проявляется ко вторичным и обратно отраженным электронам. Вторичные электроны возникают в объеме, вблизи области падения пучка, что позволяет получать изображения с относительно высоким разрешением. Объемностъ изображения возникает за счет большой глубины фокуса растрового электронного микроскопа, а также эффекта оттенения рельефа контраста во вторичных электронах.

В рентгеновском микроанализаторе (РСМА) основным инструментом является характеристическое излучение (K, L, M, N - серий) возникающих под действием электронной бомбардировки. Анализ характеристического рентгеновского излучения может дать как качественную, так и количественную информацию об объектах диаметром в несколько микрометров в пределах шлифа.