Герметизацию проводят для полной изоляции кристаллов ИМС от окружающей среды, содержащей влагу и активные вещества, способные вызвать коррозию, химические взаимодействия и, в результате, привести к выходу ИМС из строя.
Герметизация бывает корпусная и бескорпусная.
При корпусной герметизации предварительно изготавливают элементы корпусов -основания с изолированными выводами, крышки и вспомогательные детали.
После монтажа кристалла (посадки кристалла в корпус) и подсоединения электродных выводов к основанию корпуса присоединяют крышку, в результате чего образуется замкнутый объем.
Соединение крышки с основанием корпуса осуществляют методами сварки, пайки и склеивания (метод выбирают в зависимости от конструкции, типа и размера корпуса).
Корпуса бывают: металлостеклянные, металлокерамические, стеклянные, керамические, пластмассовые.
При бескорпусной герметизациипроцесс герметизации совмещен с формированием корпуса (т.е. корпус заранее не изготавливают). При этом методе свободное пространство между элементами ИМС заполняют полимеризующимся электроизоляционным составом (компаундом), который при затвердении образует монолитную оболочку. Компаунды изготавливают на основе эпоксидных или полиэфирных смол.
После герметизации ИМС проводят электрические, механические, климатические и радиационные испытания. Необходимость этих испытаний обусловлена наличием скрытых дефектов в ИМС из-за использования материалов или технологических режимов, не отвечающих нужным требованиям, из-за несовершенства конструкции ИМС и т.п.
В процессе испытаний ИМС со скрытыми дефектами отбраковываются, и тем самым гарантируется надежность ИМС в условиях эксплуатации.
Надежность любого устройства характеризуется свойством этого устройства сохранять значения установленных параметров функционирования в определенных пределах, соответствующих заданным условиям эксплуатации, хранения и транспортировки.
Показатели надежности- безотказность, долговечность, сохраняемость, срок службы.
Электрические испытания служат для проверки работоспособности ИМС, стабильности параметров ИМС в различных режимах. ИМС включают в электрическую схему, подавая на выводы ИМС максимальные напряжения и пропуская максимально допустимые токи, а затем выдерживают заданное время. Электрические испытания проводят на специальных стендах, обеспечивающих контроль и регистрацию параметров по заданной программе.
При механических испытаниях ИМС проверяют на вибропрочность, ударную прочность, воздействие линейных нагрузок. Электрические параметры ИМС контролируют после испытаний.
Климатические испытания включают проверку на теплоустойчивость, холодоустойчивость при эксплуатации и транспортировке, влагоустойчивость, устойчивость к пониженному и повышенному атмосферному давлению, воздействию морского тумана.
Радиационные испытания проводят для определения радиационной стойкости изделий, для чего ИМС подвергают воздействию заданной дозы рентгеновского или гамма - излучения, а также потока нейтронов. Электрические параметры ИМС контролируют после испытаний.
Для контроля качества ИМС проводят:
а) приемо-сдаточные испытания, контролируя качество каждой предъявляемой к сдаче партии изделий и по результатам контроля принимая решение о возмож-ности ее приемки и поставки;
б) периодические испытания, служащие для периодического (в определенные сроки) контроля качества изделий и подтверждения стабильности технологического процесса их изготовления за контролируемый период;
в) типовые испытания, проводимые при изменении конструкции, технологии, материалов, оборудования, используемых при изготовлении данных изделий.
Особое значение имеют технологические испытания, целью которых является своевременная отбраковка потенциально ненадежных ИМС на всех этапах технологического процесса их изготовления. Технологические испытания проводят в процессе изготовления ИМС (входной контроль, межоперационный контроль) и на готовых изделиях (финишный контроль).
После прохождения всех этапов испытаний и измерений параметров выполняются заключительные технологические операции, и ИМС могут быть отправлены потребителям.
Заключительные технологические операции - это операции внешнего оформления, обеспечивающие защиту ИМС от внешних воздействий, удобство подсоединения в аппаратуру, а также дающие информацию о типе ИМС и внешнее эстетическое оформление.
