Сложность оборудования

Довольно часто на практике ионное легирование совмещают с процессом диффузии:

1. ионным легированием загоняют примесь в полупроводниковую пластину ( т.е. проводят "загонку" примеси), а затем пластины передают на диффузионный отжиг ( т.е. проводят "разгонку" примеси). Благодаря сочетанию достоинств легирования и диффузии получают нужное распределение примеси при необходимой глубине слоя.

2. в слой поликремния, лежащий на поверхности пластины, ионным легированием внедряют примесь, а затем проводят диффузионный отжиг ("разгонку") для перераспределения примеси из поликремния в пластину.

Тема: Плазмохимические процессы.

Общие сведения о вакууме, ионизации газа, плазме.

Вакуумомназывается разреженное состояние газа, т.е. такое состояние, при котором давление газа в некотором замкнутом герметичном объеме ниже атмосферного давления.

Для того, чтобы создать вакуум в какой- либо установке, из нее необходимо откачать газы. Идеальный вакуум получить нельзя ( вакуум - пустота ).

Единицами измерения вакуума являются: 1 Паскаль( Па ) или 1 мм ртутного столба.

1 мм рт. столба = 133 Па ( 1 Па = 1 Н/м² )

760 мм рт. столба ≈ 10⁵ Па

Молекулы газа массой mв количестве n, находясь в замкнутом объеме и ударяясь со среднеквадратичной скоростью v о стенки сосуда ( в котором они находятся), создают в нем давление

Если Р = 10⁵ – 10¹ Па, в сосуде создан низкий вакуум

Если Р = 10^-1 – 10¹ Па - средний вакуум

Если Р = 10^-1 – 10^-5 Па - высокий вакуум

Если P < 10^-5 Па - сверхвысокий вакуум

Для получения вакуума в установках используются механические и диффузионные насосы.

Ионизацией газа называется процесс превращения нейтральных молекул газа в положительно заряженные ионы.

4. нейтральная молекула газа