Технологія виготовлення інтегральних мікросхем

В 1959 році була запропонована планарна технологія. Ця технологія вирішила основну проблему інтеграції, а пристрої – інтегральні мікросхеми.

Планарна – це технологія при якій всі елементи розміщуються в одній площині. Є планароно дифузійна і пленарно епітаксій на технології.

Стадії пленарно – дифузійної технологі

1.На поверхні моно кристалу кремнію p-типу термічним окисненням кремнію формують захисну плівку (0.5 мм) SiO₂.

2.Нанесення фотосинтезу (світлочутлива емульсія)

3.Експонування шаблонів

4.Фоторезистор полімерується

5.Травлення розчином MF і зливання полімерного шару

6.Дифузія з газової фази, домішки n-типу.

Одержані елементи з’єднуються шляхом нанесення металізованих доріжок.

Недоліки технології:

- Мала чіткість меж p-n переходів

- Домішка розподіляється нерівномірно

- Якість НП – приладів невисока

Переваги:

Більш досконала пленарно – епітаксій на технологія. Вона базується на нарощенні тонкого ПН – шару на ПН – основі з будь яким типом провідності. При цьому кристалічні гратки вирощеного шару є точним продовженням кристалічних граток основи склад вирощеного шару може відрізнятися від складу основи.

Переваги:

Якість p-n переходів набагато вища, але вона дорожча