Резистивные датчики влажности

Сопротивление многих неметаллических проводников зависит от содержания в них воды. На этом принципе реализуются резистивные датчики влажности или гигристоры.

Рис. 13.4 Схема гигристора.

Рис. 13.5 Резистивно-емкостной датчик влажности: А - структура тонкопленочного датчика влажности на основе тонких пленок из оксида алюминия, Б – эквивалентная схема.

В приведенном на рисунке резистивном датчике влажности используется материал, обладающий сравнительно низким удельным сопротивлением, которое сильно зависит от влажности окружающей среды. Слой такого материала наносится сверху двух гребенчатых электродов. Когда он поглощает молекулы воды, сопротивление между электродами изменяется.

Рис. 13.6 Датчик абсолютной влажности с саморазогревающимися термисторами: А – электрическая схема, Б – зависимость выходного напряжения от влажности.

Датчики, реализованные на основе термисторов, измеряют влажность по изменению теплопроводности газов. Такие датчики состоят из двух термисторов, закрепленных при помощи тонких проводов для снижения тепловых потерь за счет теплопроводности через корпус. Термисторы рабочий и сравнения включены в мостовую схему. Балансировка моста осуществляется в условиях сухого воздуха.